Prednosti za razpršene tanke filme

Izvleček

Razpršeni senzorji tankega filma so naprave, ki se uporabljajo za merjenje in spremljanje tlaka v različnih aplikacijah. Ta članek bo razpravljal o svojem delovnem načelu, prednostih in razliki med IT in debelo filmsko tehnologijo.

Razpršen senzor tlaka v tankem filmu

Razpršeni senzorji tankega filmaso pridobili pomembno priljubljenost zaradi svojih prednosti pred tradicionalnimi tehnologijami zaznavanja.

Njegova prihodnost je obetavna pri nenehnih prizadevanjih za raziskave in razvoj. Pričakuje se, da bodo imeli vse pomembnejšo vlogo v številnih panogah, kot so vesoljski, ladji, železniški tranzit, avtomobilski elektronski sistem stabilnosti (ESP) in elektronski hidravlični zavorni sistem (EHB) in dizelski visokotlačni tirnici in drugim poljem, kot so hidravlične opreme.

V prihodnosti naj bi se razvile v značilnostih kompaktne velikosti, integrirane, digitalne in inteligentne zmogljivosti.

Načelo delovanja senzorjev tankega filmskega tlaka

Senzor tlaka s tankim filmom uporablja ionsko brizganje in tehnologijo jedkanja za ustvarjanje tanko-filmov uporov na elastični membrani, narejeni iz nerjavečega jekla. Ti upori tvorijo most iz pšeničnega kamna. Kadar se na membrano iz nerjavečega jekla uporablja tlak tekočine, se deformira, kar vodi do spremembe odpornosti. Most Wheatstone ustvari električni signal, sorazmerno s tlakom. Z vrsto korakov obdelave signalov in korekcije napak se ta signal pretvori v standardni električni izhod, kar omogoča merjenje tlaka.

Prednosti za razpršene tanke filme

Od izolacijskega filma in substrata se občutljivi film in izolacijski film neposredno odlagata v visoko vakuumsko okolje. Medsebojne filme združujejo atomska sila, kar odpravlja učinek lezenja, ki ga povzroča lepilni trak. Na podlagi tega so senzorji tlačnega tlaka Sputterja izjemni v smislu:

1. Visoka natančnost. Tehnike odlaganja brizganja omogočajo ustvarjanje tankih filmov z natančnim nadzorom debeline. To omogoča izdelavo zelo občutljivih in natančnih elementov zaznavanja tlaka. In ima dobro ponovljivost in visoko zanesljivost.
2. Močno odporen na visoko intenzivne vibracije, udarce in korozijo, brez uhajanja. Ker je senzor tankega filmskega tlaka varjeno v celoto z laserskim varjenjem ali plazemskim varjenjem, sta varjena občutljivo telo jedra in tlačni spoj iz nerjavečega jekla. Zato razpršeni senzorji tlaka v tankem filmu nimajo nobenih "O" gumijastih tesnil. Ni silikonskega olja, tlačni medij pa neposredno deluje na korozijsko odporno jedro iz nerjavečega jekla. Izdelek lahko prenese visoko intenzivno vibracijo in udarce in absolutno ni nevarnosti puščanja.
3. Dobre temperaturne značilnosti. Senzor tankega filmskega tlaka sprejema tehnologijo polprevodniških procesov in tehnologijo obrezovanja laserske odpornosti. Delujejo lahko v širokih temperaturnih območjih, na primer -40 stopinje… 125 stopinj in eno lahko prilagodimo za -55… 150 stopinj.
4. Odziv na visoko frekvenco. Ker tlačni medij neposredno deluje na korozijsko odporno jedro iz nerjavečega jekla. Brez diafragme in polnjenja tekočine. Zato je meritev resnična, frekvenčni odziv pa visok.
5. Majhna velikost. Naši senzorji so kompaktni in trpežni. V nekaterih aplikacijah, ki ima omejen prostor, se naši senzorji spopadajo z izzivom.

Opozoriti je treba, da lahko slabo vezanje med elementom tankega filma in pristaniškim materialom privede do zgodnje odpovedi komponent med kolesarjenjem vzdržljivosti. Zahteva drago opremo za brizganje in čisto sobo. Zato lahko samo vodilni proizvajalci svoje obrate upravljajo s pravilno segregacijo, da se izognejo kakršni koli navzkrižni kontaminaciji in tako ohranijo visoko stabilnost procesa. Medtem ko Macsensor to naredi.

Oblikujemo in izdelujemo razpršene senzorje tankega filmskega tlaka na podlagi težav, ki so pogoste v panogah, kot so resna kavitacija, pojav kladiva, visok največji pritisk, veliko nihanje moči, veliko vibracijsko motnje in drugo ostro okolje v hidravličnem sistemu gradbenih strojev. Naši izdelki lahko v celoti ustrezajo zahtevam teh delovnih pogojev.

Razlika med debelimi in tankimi filmskimi senzorji

Razlika med debelimi in tankimi filmskimi senzorji je v debelini uporabljene plasti upora. Tanki filmski senzorji imajo debelino 0. 1 mikrometrov ali manjše, debeli filmski senzorji pa so tisočkrat debelejši od tankih filmskih kolegov.

V načinu uporabe uporovnega filma na substrat so različni. Tanki filmski upori vsebujejo kovinski film, ki je pod vakuumom odložen na izolacijski podlagi. V nasprotju s tem so debeli filmski upori ustvarjeni s streljanjem specializirane paste, sestavljene iz kovinskih oksidov in stekla, na podlago.

Tanki filmski senzorji ponujajo pomembne prednosti, kot so večja natančnost, izboljšan temperaturni koeficient in izboljšana stabilnost. Medtem ko so debeli filmski senzorji prednostni za aplikacije, kjer visoke zahteve niso ključne, saj so stroškovno učinkovitejše.